可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求,電子無塵車間工程分為隧洞式、開發(fā)式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流電子無塵車間工程和混合流潔凈室。
單向流和混合流電子無塵車間工程的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A),非單向流電子無塵車間工程的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。
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工業(yè)電子無塵車間工程垂直單向流潔凈室的空間,應(yīng)包括活動地板一下的技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。潔凈廠房中,發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設(shè)備,宜與空氣潔凈度要求嚴(yán)格的房間分隔布置;
電子無塵車間工程型式的選擇,應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的工業(yè)潔凈電子無塵車間工程廠房,宜采用混合流潔凈室,對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時,宜采用微環(huán)境等型式。
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潔凈電子無塵車間工程廠房的送風(fēng)方式可以分為集中送風(fēng)、隧洞送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求??諝鉂崈舳鹊燃墳?~5級時,應(yīng)采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6~9級時,宜采用非單向流;電子無塵車間工程工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。
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