計算機、微電子和信息技術(shù)的進步,推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,也帶動了潔凈無塵室工程技術(shù)的應(yīng)用,同時對設(shè)計潔凈無塵室工程提出了更高的要求。電子制造業(yè)的潔凈無塵車間設(shè)計,是一項綜合的通風(fēng)凈化技術(shù),只有充分熟悉了解電子制造業(yè)的設(shè)計特點,結(jié)合潔凈無塵室工程特點,做到設(shè)計合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
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一般來說,電子無塵室工程涵括了多個等級無塵室的應(yīng)用,其中千級(粒徑≥0.5U塵粒,不大于3.5萬顆/立方米)和萬級(粒徑≥0.5U塵粒,不大于35萬顆/立方米)潔凈無塵室,在各個工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、新風(fēng)量嚴(yán)格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風(fēng)速可按用戶實際需求或潔凈規(guī)范受控。
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另外,電子廠房無塵室工程項目對靜電防護要求特別嚴(yán)格,因此對無塵車間的濕度控制指標(biāo)尤甚。過于干燥車間內(nèi)部特別易產(chǎn)生靜電,存在電子元件的損壞風(fēng)險,而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會縮短電子產(chǎn)品的車間壽命。一般來說,電子無塵車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這樣的環(huán)境可去除靜電產(chǎn)生的破壞作用,并且使人員也感覺舒服適宜。
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芯片生產(chǎn)類無塵室工程、集成電路無塵室工程、磁盤制造無塵室工程,它們都是屬于電子制造行業(yè)潔凈無塵室工程的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求%嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
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