光學(xué)微電子凈化車間工程結(jié)構(gòu)材料選擇原則【東鑫凈化】

   光學(xué)微電子凈化車間工程亦名光電無塵室潔凈室或光電凈化車間工程，目前已是半導(dǎo)體、精細(xì)制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年的技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的精細(xì)度化、微小型化之需求更為迫切。如超微型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上特別重視的項目。

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   對光學(xué)微電子凈化車間內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布，進(jìn)行合理的設(shè)計即氣流的流型，應(yīng)考慮避免或減少渦流，有利于迅速地排除污染物，盡量受限或減少室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌的擴散，維持室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境所要求的空氣潔凈度等級。

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   根據(jù)國家相關(guān)GB標(biāo)準(zhǔn)文件，行業(yè)的不同國標(biāo)都有強制規(guī)范規(guī)定。如光學(xué)微電子凈化車間工程定為十萬級，一般的微電子企業(yè)部分定為萬級或以上，至于這個以上要求，主要根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品和工藝要求，需要達(dá)到什么級別。

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  1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻、角、門、窗框等一般采用特別氧化鋁型材制造。
  2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高等級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
  3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
  4、高能效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。