凈化車(chē)間工程的主要功能是提供一個(gè)健康的生活和生產(chǎn)環(huán)境,創(chuàng)造一個(gè)滿(mǎn)足照明、溫度、濕度、噪音、空氣流量、壓力、靜態(tài)和衛(wèi)生指標(biāo)如微振動(dòng)環(huán)境,使相關(guān)的服務(wù)和產(chǎn)品,以滿(mǎn)足人們的健康需求的環(huán)境,提供一個(gè)良好的空間,環(huán)境控制,從而有效地提高產(chǎn)品的合格率,改善和提高服務(wù)質(zhì)量的相關(guān)目標(biāo)。
安徽凈化車(chē)間工程
凈化車(chē)間工程的溫濕度主要根據(jù)工藝要求確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高,對(duì)溫度和濕度的要求越來(lái)越嚴(yán)格。
凈化車(chē)間工程溫度的具體要求將在后面列出,但作為一般原則,隨著加工精度的提高,對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求會(huì)越來(lái)越小。例如,在大規(guī)模集成電路產(chǎn)生的光刻曝光過(guò)程中,玻璃與硅片作為掩模材料的熱膨脹系數(shù)差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品可能有污染,特別是鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不應(yīng)超過(guò)25度。
江西凈化車(chē)間裝修工程
高濕度會(huì)導(dǎo)致更多的問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁暴露。如果它發(fā)生在精密設(shè)備或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度往往在50%生銹。此外,當(dāng)濕度很高時(shí),附著在硅片表面的灰塵會(huì)被空氣中的水分子化學(xué)地附著在表面,這是很難去除的。相對(duì)濕度、粘結(jié)力越高,則越難去除,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電顆粒對(duì)表面吸附的影響,還容易對(duì)大量半導(dǎo)體器件產(chǎn)生擊穿。硅片生產(chǎn)的最佳溫度范圍是35 - 45%。
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