凈化小課堂來臨-關于電子車間凈化工程潔凈度的特點【東鑫凈化】

芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子車間凈化工程產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。關于電子車間凈化工程的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定），這時可有效地去除靜電使人感覺舒適。

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1、電子車間凈化工程內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)。

2、電子車間凈化工程垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

3、電子車間凈化工程室內與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

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4、電子車間凈化工程內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值：

（1）補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

（2）保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

（3）電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，保證電子廠房凈化工程空氣潔凈度等級的送風量；根據熱，濕負荷計算確定電子潔凈室的送風量；向電子無塵室內供給的新鮮空氣量。